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HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

直接聯(lián)系

成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

沃特塞恩

型號:

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

關(guān)注度:

952

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)

(1)型號HMPS-2080SP
(2)電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<18KVA
(3)微波輸出功率0.1~8kW 連續(xù)可調(diào)
(4)功率穩(wěn)定度 1%(@穩(wěn)態(tài))
(5)紋波≤1%
(6)微波頻率  2450MHz±50MHz
(7)測溫方式    紅外300~1400℃
(8)極限真空度≤3.7×10-3Torr
(9)工作壓力  5torr~225torr
(10)放電區(qū)Φ≥70mm
(11)均勻沉積區(qū)≥68mm
(12)工作氣體

H2 /CH4  /N2  /O2 或CO2 或Ar ,可擴(kuò)展為5路

(13)氦質(zhì)譜真空漏率≤1.0×10-9Pa·m3/s;
(14)工作環(huán)境溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體


產(chǎn)品咨詢

HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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