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勻膠機

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BASIXX ST20+?200毫米)臺式旋涂機,帶電動介質臂

BASIXX ST20?200毫米)臺式旋涂機

BASIXX ST20+實驗室臺式勻膠機

是一款緊湊的旋涂,顯影,清潔和干燥半自動系統,旨在為科學和研究領域的用戶提供高效,安全和清潔的實驗室系統。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理,例如編寫,編輯,保存和加載。 服務區提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

特點:

÷直驅無刷微調電機

÷全軸電機驅動且完全可編程

÷具有程序菜單管理功能的軟件控制

÷帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷旋轉器蓋傳感器控制

÷通過觸摸屏或按鈕啟動程序

÷7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼

÷外殼上的電源開關ON / OFF

÷配備標準的水坑噴通過水坑噴嘴注入溶劑

÷可拆卸處理碗和飛濺環,便于清潔

÷可處理圓形晶片,尺寸**?200mm?8英寸)

÷可處理方形基板尺寸**為150 x 150毫米(6 x 6英寸)

÷標配*多安裝3個介質管線/噴嘴(可選:*多5個介質管線/噴嘴)

÷可視真空控制儀

÷真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統運行來控制

÷0.5 Itr廢液瓶

÷可選的帶Z軸移動和PR分配系統的電動介質臂

÷可作為臺式安裝,也可做獨立裝置使用

÷簡單且經濟高效

÷專為研究所,實驗室和基礎研發而設計

應用:旋涂,顯影,清潔和干燥

產品參數:

可處理襯底尺寸:直徑**為?200mm?8英寸)圓片,或**為150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片

旋轉速度:**10,000rpm *,(rpm步長為單位);

加速度:**4.000 rpm / sec *

處理時間:1999,9sec,以0.1秒為步;

處理碗:可更換,聚丙烯(PP)材質

腔體:白色(PP)材質

固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;

電源:230208VAC / 1Phase/ N / PE / 5060Hz

真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直徑6 mm

排氣-過程:1x外徑38毫米,約 30立方米/小時

氮氣(可選):40.2 bar,PFA管外徑6 mm

CDA(可選):82bar,管外徑8mm

選配

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

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