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高直寫精度 (XY: 10nm， Z: 1nm)

形貌感知靈敏度0.1nm

形貌感知靈敏度0.1nm

PPA(聚苯二醛) 直寫膠涂敷在樣品表面。

背熱式直寫探針，微區電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解，周圍部分由于PPA熱導率低而不受影響。

熱針震動模式直寫，直寫時探針加熱，每次下針幅度受靜電力控制，垂直精度 1 nm，從而寫出3D圖形。

其他功能

● 納米顆粒有序定位排列

● 納米局部化學反應誘導

^{快速原型設計開發}

^{● 衍射透鏡，全息圖}

^{● 非球面微透鏡陣列}

^{● 波導纖維、光子晶體}

^{● MEMS/NEMS}

^{● 表面等離子激元，超材料}

^{● 納米磁學}

^{● 納米電子器件}

^{● 生物細胞研究}

^{● 納米流體控制}

^微納結構

^{● 防偽標識}

^{● DFB 激光、}

^{● ASICs 的關鍵部位加工}

^模板加工

^{● 光掩模板}

^{● 納米壓印印章}

^{● 注射成型模具}