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WAFER AOI光學(xué)檢驗(yàn)系統(tǒng)

進(jìn)料的wafer，經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查，進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer，避免了污染和損傷wafer。

性能描述：

• 標(biāo)準(zhǔn)配備1個(gè)Load port，單臂翻轉(zhuǎn)Robot，Pre-aligner，目檢臺(tái)和顯微鏡。

• 兼容8寸和12寸wafer

• 標(biāo)準(zhǔn)load port可以對(duì)應(yīng)FOUP，AutoFOSB自動(dòng)開蓋，具備mapping功能

• 高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，低噪音，低塵，無需供油。

• 觸摸屏操作，界面友好。

• 對(duì)應(yīng)GEM300，采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)軟件

晶圓光學(xué)檢測(cè)機(jī)：