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德國Sentech等離子刻蝕機ICP-RIE SI 500

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脈沖激光沉積設備—PLD-400
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全自動晶片減薄機SGM-9100
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快速高溫退火設備RTA RSA-06
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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061
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