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去膠剝離機

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

大族半導(dǎo)體

型號：

去膠剝離機

關(guān)注度：

414

產(chǎn)品介紹

主要特點：

設(shè)備特點：

1、槽式浸泡與單片旋轉(zhuǎn)噴淋方式相結(jié)合，提高產(chǎn)能

2、高壓或二流體噴淋可徹底除去光刻膠

3、基片干進濕傳干出

4、去膠液回收、循環(huán)過濾再使用，降低用戶成本

5、貴重金屬回收

主要參數(shù):

主要參數(shù)	片盒數(shù)量	2CS&2LP
	配置	1Soak+1Stripper+1cleaning
	wafer 類型	圓片，方片
	wafer 尺寸（mm）	50-300
	產(chǎn)能（WPH）	40
	化學(xué)藥液	NMP、DMSO
	襯底材料	Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
	適用工藝	Lift-off、stripper
	干燥模式	Spin Dry+N2 Dry

產(chǎn)品咨詢

去膠剝離機

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