AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)

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無錫奧威贏科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

奧威贏

型號：

AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)

關(guān)注度：

670

產(chǎn)品介紹

設(shè)備用途

高性能的單片去膠（打膠），主要應(yīng)用于 4、6、8 英寸直徑的半導(dǎo)體單片去膠、等離子表面清洗、掃底膜工藝等。

主要應(yīng)用領(lǐng)域包括：芯片制造、MEMS、太陽能電池、化合物產(chǎn)業(yè)（GaAs、GaN、GaP、InP、SiC 等）、光電產(chǎn)業(yè)等，主要應(yīng)用工藝包括：去膠、可控光刻膠去除（刻蝕前掃底膜）、GaAs、InP 晶片去膠及掃底膜等。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號	AW-QP600
外形尺寸(不含報(bào)警燈塔)	L1200×W1500×H1750(mm)
反應(yīng)倉材質(zhì)	石英+6061鋁合金
等離子體發(fā)生器	頻率13.56MHz,功率0-600W可調(diào)，自動阻抗匹配
去膠圓片尺寸	4寸、6寸、8寸
去膠速率	300-1500A/min
溫度控制	30～160℃、±3 ℃
產(chǎn)能及碎片率	單腔45～60片/小時(shí)，≤1/1000
真空系統(tǒng)	油泵/干泵可選，進(jìn)口氣動角閥、充氣閥，高精度真空計(jì)
氣路系統(tǒng)	MFC質(zhì)量流量計(jì)控制(標(biāo)準(zhǔn)配置2路):5SLMO?和1SLM N
控制系統(tǒng)	觸摸式工控機(jī)+PLC控制
備注	可按客戶需求彈性設(shè)計(jì)/多腔設(shè)計(jì)

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AW-QP系列單片式等離子去膠機(jī)

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