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HMPS-2120S微波等離子體CVD設備

直接聯(lián)系

成都紐曼和瑞微波技術有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

和瑞微波

型號：

HMPS-2120S微波等離子體CVD設備

關注度：

736

產(chǎn)品介紹

微波功率容量大、功率密度高；

◆沉積面積大、速率快、質量高；

◆安全可靠，滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運行；

◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源，新型下饋式大容積碟形放電工作腔；

◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調，穩(wěn)定度1%；

◆放電區(qū)Φ≥100mm；均勻沉積區(qū)Φ≥75mm；

◆工作氣體：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；

◆極限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s；

◆工作壓力：0.1~30kPa；自動控制；

◆紅外測溫：600~1800℃（雙色）；

◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制。

產(chǎn)品咨詢

HMPS-2120S微波等離子體CVD設備

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