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Radiation 全光譜橢偏儀

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產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

質(zhì)朋儀器

型號:

Radiation 全光譜橢偏儀

關(guān)注度:

651

產(chǎn)品介紹

規(guī)格

技術(shù)指標

襯底類型

透明或半透明襯底

光源

氙燈

光源壽命

>8760H

光譜范圍

300-1000nm

入射角

70度(40-90度 每5度可調(diào))

光斑直徑

100x120μm(Min80x100um)

測量時間(不對焦)

<2S(單層模型),<6s(多層模型)

膜厚測量范圍(單層膜)

1nm-15μm

對焦

自動訊號對焦

膜厚測量精度

<0.5nm(基于標片)

折射率測量精度

<0.005(基于標片)

厚度重復性精度:

<0.5A1 sigma 標準差,10times)(基于標準片)

折射率重復性精度:

<0.00051 sigma標準差,10times)(基于標準片)

可測試膜層數(shù)量

2

標片數(shù)量

2


產(chǎn)品咨詢

Radiation 全光譜橢偏儀

Radiation 全光譜橢偏儀

請?zhí)顚懩男彰?

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Radiation 全光譜橢偏儀 - 651
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