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分子束外延沉積速率監測/控制系統

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北京英格海德分析技術有限公司

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XBS三級濾過四極質譜(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System),適于精確的MBE分析,其他氣體分析和科學實驗使用。Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232RS485 或以太網控制。

·離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢質譜·靈敏度增強用于大質量數的傳輸,自動質量數范圍列表

·一級過濾處增加射頻,抗污染物能力增強·內置UHV 兼容的水冷卻罩

·靈敏度高,檢測范圍: 100% 5ppb

·質量數范圍: 0~ 510amu·長期穩定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%)·交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 ±35°·2mm 束接受孔,也可為特殊使用者配置·分子束研究中,檢測極限低至30 ions/s·監測生長速率: 1? / min,或更低

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