粉體行業在線展覽
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YSF24系列雙閥壓力控制器
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遼寧冠華半導體有限公司
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YSF24系列雙閥壓力控制器
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該系列是一款專門應用于密閉腔體或容器中的壓力測控產品，使用兩個比例閥門，通過將壓力傳感器與閥門和流道物理隔離，精確控制密閉腔體或容器的氣體的絕壓或表壓能有效減少由于持續排氣造成的昂貴氣體浪費，被廣泛應用于半導體等多種高端工藝制程。 控壓精度高，可達到±0.25% FS 快響應，*快可達到 30ms 雙閥設計，避免持續排放昂貴氣體造成的浪費靈活定制，多種通訊模式、機械接頭適用于半導體等多種高端工藝制程
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