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ASPIPER 3000

非線性光學晶圓缺陷檢測系統

ASPIRER 3000非線性光學晶圓缺陷檢測系統可以提供晶圓級別的缺陷檢測，對界面及膜層質量進行綜合測試分析，提升各類制程的良率。獨有的非線性光學技術配合自主研發的檢測系統可提供超高的檢測靈敏度，并對有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機臺可滿足客戶在研發和量產中對晶圓質量的快速、無損、精準檢測需求。

產品特點

非接觸、無損傷

快速檢測

在線檢測

軟件操作便捷

Wafer Map等多樣化表征手段

主要應用

各類成膜工藝質量的監控

各類生產工藝機臺穩定性的監控

刻蝕等工藝對晶圓損傷的檢測與監控

離子注入及退火工藝的質量監控

清洗等工藝質量的監控