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BASIS系列OEM氣體流量控制器
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博思飛爾（上海）儀器科技有限公司
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BASIS系列OEM氣體流量控制器
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對于大數額訂單，BASIS系列OEM氣體質量流量控制器，能為用戶提供可重復、可靠、經濟的氣體流量控制方案。專為原始設備制造商（OEM）無應力設備集成而設計的BASIS輕便靈巧、內置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
可靠-BASIS系列OEM氣體質量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復性使其在工作第700天時仍像**天一樣。
靈敏-您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。BASIS系列OEM氣體質量流量控制器具有業內**的控制速度和閥門調節，能帶給用戶的益處將遠遠超出預期。
兼容-BASIS系列OEM氣體質量流量控制器應用范圍相當廣，輕便靈巧、多氣體標定、模擬及數字雙重通訊將為您的項目設計提供更大的靈活性。
| 精度 | ± 1.5 %R.D and ± 0.5 %F.S |
重復度 | ± 0.5 % R.D |
| 控制范圍 | 1–100% F.S ( 0 -100SCCM ) ；0.5–100% F.S ( 0 -1000SCCM；0-20SLM；0-50SLM ) |
| 響應時間 | 優于100 ms |
| 工作溫度 | 0–50°C |
預熱時間 | 70 ms |
| 模擬通訊 | 4–20 mA, 0–5 VDC, |
| 數字通訊 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU協議 |
| 電 源 | 10 - 30 VDC ； 200 mA |
| 閥門類型 | 常閉 |
| 閥體材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | FKM |
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