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流量規(guī)格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

準(zhǔn)確度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

線性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重復(fù)精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤4 sec

≤4 sec

工作壓差范圍

≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

氣壓降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

**工作壓力

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號(hào)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

24 VDC  100 mA

24 VDC  100 mA

重量

1.2 kg

1 Kg