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S500熱式質量流量控制器能夠在較大的量程范圍內在線實時地精確控制氣

流質量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫

差方法，而測得氣體質量流量；不同于測壓力或測體積方法等類別流量計，其流

量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實時反映氣流瞬

時流量，并通過PID電路實時控制比例電磁閥而精確控制流量，所以特別適用于過

程控制中在線實時的氣體流量的精確測量和控制。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆閥體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。

線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和電容等為重要零部件，均執行嚴格的入廠標準。

☆可任意角度安裝。

☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合工作。

配合MT-50系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。

執行Q/CYHMT0001-2014 企業標準