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Talyrond 595 的所有軸都經(jīng)過(guò)精密加工，加強(qiáng)了軟件自動(dòng)更正功能，讓TR595擁有了無(wú)可比擬的直線度和圓度精確度。調(diào)心和調(diào)平操作臺(tái)配有高分辨率電機(jī)，進(jìn)一步加強(qiáng)了精度和全自動(dòng)設(shè)置目標(biāo)功能。

該系統(tǒng)配有的Talymin 5傳感器測(cè)量能力能夠達(dá)到納米級(jí)別，同時(shí)自動(dòng)橫臂機(jī)制能夠提供無(wú)以倫比的多功能化確保能夠測(cè)量*難以達(dá)到的部分。TR595配置的主動(dòng)抗振控制托架確保了不受外界環(huán)境影響的測(cè)量環(huán)境，保證測(cè)量環(huán)境接近生產(chǎn)過(guò)程。

• 全自動(dòng)軸臂橫向和縱向機(jī)制
• 軸臂、立柱和主軸校準(zhǔn)自動(dòng)校準(zhǔn)
• 自動(dòng)傳感器校準(zhǔn)
• 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um
• 傳感器分辨率0.3 nm
• 主動(dòng)隔震和環(huán)境隔離系統(tǒng)