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Semiconsoft MProbe膜厚測試儀

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廣州市固潤光電科技有限公司

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Semiconsoft MProbe 膜厚測試儀

MProbe 讓 你 成 為 測 量 專 家 !

大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量:氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導體(Si, aSi,polySi)、硬涂層(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚對二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金屬薄膜等。

厚度和其他參數的均勻性測量對于許多應用程序是很重要的。

映射選項包括:

1.XY電動平臺(150,200和300毫米游程)

2.固體19 x19"鋁合金平臺

3.探頭架(反射/透射測量均可)與光學系統

4.調節器

5.支持軟件(映射配方,等等)。

定位精度

< 2 μm

分辨率

< 0.5 μm

驅動

步進電機

調節器

一體化平臺

通訊

串口(RS232)

尺寸

19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”階段)

重量

12 kg

硬件選項

-150XYM

6”x6” (150x150mm) XY電動平臺

-200XYM

8 x8”(200x200mm) XY電動平臺

-300XYM

12x12”(300x300mm) XY電動平臺

-VAC

真空夾盤(樣品架通過一個電機泵插入微孔)

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Semiconsoft MProbe膜厚測試儀

廣州市固潤光電科技有限公司

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