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紫外高分辨率膜厚儀

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產(chǎn)品介紹

FR-Basic VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm

Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。

小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),分辨精度可達(dá)3648像素, 16位級(jí) A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化鋁面板,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔,用以安裝光學(xué)部件。

樣品放置臺(tái),配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精調(diào)節(jié)。

Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng),

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類(lèi)型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),可以有效地協(xié)助用戶(hù)進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測(cè)量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射光學(xué)探針

系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm

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