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Filmetrics薄膜測厚儀F54

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Filmetrics F54 光學膜厚測量儀測厚儀

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自動化薄膜厚度分布圖案系統

依靠 F54 先進的光譜測量系統,可以很簡單快速地獲得**直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標移動平臺,可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度,測試非常快速,大約每秒能測試兩點。 系統中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術便可在幾分鐘內建立自己需要的圖形模式。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括:

相關應用

半導體制造

光刻膠 氧化物/氮化物/SOI 晶圓研磨減薄/封裝

液晶顯示器

盒厚 聚酰亞胺 ITO

光學鍍膜

硬涂層 抗反射涂層 濾光片

微電子

光刻膠 硅膜 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

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