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FR的工具基于白光反射光譜（Reports），準確同步的厚度測量及薄膜的折射率

一個廣泛的多樣化的應用范圍廣泛的光電特性的工具和整體解決方案，如：

半導體，

有機電子，

聚合物，

涂料和涂料，

光伏，

生物傳感

化學傳感

FR -監控軟件

用于控制的FR -掃描儀、執行數據采集和分析薄膜的厚度。該系統簡單易學，對于初學者能很

快掌握適用于各種windows系統。

4英寸硅片退火處理后二氧化硅膜厚映射

8英寸硅片上沉積多晶硅層的膜厚映射

在3英寸硅片SU-8膠薄膜厚度映射