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Heron系列全自動化等離子表面處理系統應用于小型生產以及研發實驗室使用。Heron 80是一款獨立式等離子系統，專為表面清潔，改性，活化和蝕刻而設計。它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。用戶友好的圖形界面與高效的射頻系統相結合，使Heron 80成為小型生產或研發環境的簡單通用解決方案。

系統的技術描述

Heron 80是一款大尺寸獨立等離子系統，專為表面清潔，改裝和激活而設計。它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。下面描述的特性使Heron 80成為小型生產或研發環境的簡單通用解決方案。

主機由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側面板，便于維護或故障排除。外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。

Heron 80的控制系統基于配備觸摸屏HMI操作面板的先進PLC。由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統組件或讓PLC根據用戶可編輯的配方執行過程。PLC具有快速掃描時間，可連續測量所有系統參數，以確保均勻可靠的過程。無法避免的手動處理是裝載/卸載樣品的步驟。

Heron 80是等離子體反應器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內部具有幾個同心籠電極。

他的處理室由鋁制成。由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應器適用于大多數反應等離子體環境（即蝕刻，灰化...）。沒有焊接可確保更好的密封，從而防止過程中的外部污染

產品特點

?成本低

?觸摸屏顯示提供實時的所有主要信息，出色的過程控制和快速分析

?能夠處理多達十種不同的可編輯配方

?一致結果的一致性

?數據記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過程的歷史條件

?出色的過程控制和長期可靠性和穩定性

?使用的主要品牌組件，如真空計和質量流量控制器（MKS儀器）

?射頻功率可在1W至600W范圍內調節

技術規格

尺寸 寬 x 長 x 高 700 x 600 x 1750 mm

凈重 130 Kg （不含真空泵）

凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm