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全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

直接聯(lián)系

北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

型號：

全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

關(guān)注度：

1156

產(chǎn)品介紹

全自動晶圓刷洗機

TSC-150C/200C/200L

該系列設(shè)備是晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，集成全自動上下料系統(tǒng)、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進(jìn)干出，適用于各種半導(dǎo)體晶圓拋光后的清洗。

TSC-150CTSC-200CTSC-200L

清洗工位皮帶傳送式6工位

晶圓尺寸3-6英寸

刷洗工位*22個PVA刷，雙面刷洗

Features

產(chǎn)品特點

清洗工藝

預(yù)清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干

刷子類型

PVA 刷雙面刷洗

PLC控制系統(tǒng)

觸摸屏操作

全自動系統(tǒng)

皮帶傳動 Cassette in/out 干進(jìn)干出

產(chǎn)品咨詢

全自動晶圓刷洗機 TSC-150C

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