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產(chǎn)品

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>Edwards EXT75DX渦輪分子泵

Edwards EXT75DX渦輪分子泵

直接聯(lián)系

北京帥恩科技有限責(zé)任公司

英國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

891

產(chǎn)品介紹

概述

EXT75DX分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,采用成熟的軸承技術(shù),上軸承為**性磁懸浮軸承,下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承,并采用Holweck拖曳分級(jí)技術(shù),可以DC 24V直接驅(qū)動(dòng),或使用TAG TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法蘭有DN40NWISO63DN63CF ISO100可選。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由EXT75DX泵、TAGTIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。

性能特點(diǎn)

  • 智能控制,功耗低,減少運(yùn)行成本

  • Edwards TIC渦輪與儀表控制器兼容,可以添加1~3真空規(guī)而無需額外真空控制器,可以連接冷卻風(fēng)扇和自動(dòng)放氣閥

  • 并行或串行接口:并行模式允許使用傳統(tǒng)控制模式;串行模式提供RS232接口,可以全面控制分子泵狀態(tài),并連續(xù)監(jiān)控放氣閥設(shè)置、運(yùn)行轉(zhuǎn)速、待機(jī)轉(zhuǎn)速、可編程功率設(shè)置、功耗、泵/控制器溫度

  • 入口配有篩網(wǎng)

  • 上軸承為**性磁懸浮軸承:無需清潔、振動(dòng)小、磨損低

  • 配有手動(dòng)放氣閥(可選配電磁閥,用于全自動(dòng)放氣)

  • Holweck拖曳分級(jí)技術(shù),實(shí)現(xiàn)高吞吐量和高前級(jí)壓力差

  • 帶有吹掃口,提供制程氣體稀釋,以保護(hù)電機(jī)和下軸承

技術(shù)指標(biāo)

入口法蘭

DN63ISO-KDN63CFDN40NWDN100ISO-K

出口法蘭

KF16

ISO63/63CF

DN40NW

ISO100

N2

61l/s

42l/s

66l/s

He

57l/s

49l/s

59l/s

H2

53l/s

48l/s

54l/s

N2

>1×1011

He

1×106

H2

5×104

極限

真空

RV泵,ISO/CF

<5×10-9/<5×10-10 mbar

隔膜泵,ISO/CF

<5×10-8/<5×10-9 mbar

推薦前級(jí)泵*

RV5/nXDS6i

放氣口/吹掃口

1/8英寸BSP母螺紋

**連續(xù)入口壓力(輕質(zhì)氣體)?

水冷(水溫15°C,環(huán)境溫度40°C

2×10-2 mbar

空冷(環(huán)境溫度35°C

1×10-2 mbar

泵轉(zhuǎn)速

標(biāo)稱轉(zhuǎn)速

90000rpm

待機(jī)轉(zhuǎn)速

49500~90000rpm可調(diào)

(缺省63000 rpm

功率范圍

50~120W可調(diào)

(缺省80W

90%轉(zhuǎn)速啟動(dòng)時(shí)間

110s?

模擬輸出

泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度

冷卻方式#

空冷/水冷

空冷環(huán)境溫度

5~35°C

*小水冷流速

15°C的水)

15l/ h

水溫范圍

10~20°C

入口法蘭**溫度

100°C

工作姿態(tài)

垂直、水平

噪聲(1m處)

<50dB(A)

**耐受磁場(chǎng)

5mT

推薦控制器

TIC100渦輪儀表控制器

穩(wěn)態(tài)功耗

10W

*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級(jí)泵,如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar,如XDD1

? 如大于該入口壓力,轉(zhuǎn)速會(huì)降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。

? 功率為80 W

#空冷和水冷卻附件須單獨(dú)訂購(gòu)。

訂貨信息

貨號(hào)

描述

B72241000

EXT75DX分子泵DN63ISO-K入口法蘭

B72242000

EXT75DX分子泵DN63CF入口法蘭

B72243000

EXT75DX分子泵DN40NW入口法蘭

B72245000

EXT75DX分子泵DN100 ISOK入口法蘭

B72246000

EXT75DX分子泵DN100 ISOK入口法蘭(DN25NW前級(jí)泵接口)

B72235000

EXT75iDX分子泵DN40NW入口法蘭

B72237000

EXT75iDX分子泵DN63ISO-K入口法蘭

B72238000

EXT75iDX分子泵DN63ISO-K入口法蘭(DN25NW前級(jí)泵接口)

產(chǎn)品咨詢

Edwards EXT75DX渦輪分子泵

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Edwards EXT75DX渦輪分子泵 - 891
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