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全自動(dòng)激光解鍵合設(shè)備

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直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

大族半導(dǎo)體

型號(hào)：

全自動(dòng)激光解鍵合設(shè)備

關(guān)注度：

410

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、全自動(dòng)兼容8inch、12inch片生產(chǎn)，帶條碼自動(dòng)掃描系統(tǒng)

2、配合特殊剝離涂層，有效減少材料損傷，良品率高

3、采用先進(jìn)的光斑整形技術(shù)，光斑均勻分布

4、擁有光斑質(zhì)量監(jiān)控與反饋系統(tǒng)，保證光斑的穩(wěn)定性

5、攜帶激光加工能量監(jiān)控與自動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，保證能量的穩(wěn)定性

主要參數(shù):

主要參數(shù)加工尺寸8inch、12inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平臺(tái)參數(shù)行程300mm×300mm
重復(fù)定位精度±0.001mm
激光器參數(shù)紫外
稼動(dòng)率>0.98
重大故障間隙時(shí)間＞1000H
良率≥99.5%

加工效果：



產(chǎn)品咨詢

全自動(dòng)激光解鍵合設(shè)備

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