超高分辨率掃描電子顯微鏡 SU8200系列

創(chuàng)新型冷場(chǎng)發(fā)射電子槍具有超高分辨率和電子束穩(wěn)定性

這種新型的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍采用日立**的“柔性閃爍”“Mild flashing”技術(shù)和全新改進(jìn)的真空系統(tǒng)，在發(fā)射極尖端極大限度減少氣體分子附著。 發(fā)射極始終運(yùn)行于“潔凈”的狀態(tài)，發(fā)射電流和電子束穩(wěn)定性顯著提升。 即使在低加速電壓下，也可以得到高信噪比的SEM信號(hào)并進(jìn)行高分辨觀察。 這些增強(qiáng)性能開(kāi)辟了低電壓下元素微量分析的全新里程。

SU8200系統(tǒng)具備全新設(shè)計(jì)的頂端過(guò)濾器，可增強(qiáng)電子檢測(cè)特性。 通過(guò)選擇性地過(guò)濾非彈性散射電子和直接檢測(cè)特定能量的背散射電子，可實(shí)現(xiàn)良好的對(duì)比度。 這種選擇性的過(guò)濾，在提高低加速電壓下成分對(duì)比度方面尤為強(qiáng)大。樣品臺(tái)和樣品室的防震措施以及光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)化有助于提高分辨率：15 kV時(shí)0.8 nm，1 kV時(shí) 1.1 nm。

• *1：

• 使用日立高新技術(shù)樣品在掃描電子顯微鏡圖像測(cè)量*小的粒子間隙

• *2：

• 減速模式觀察

• *3：

• 基于127 mm x 95 mm底片指定的放大倍數(shù)