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Idonus基于高功率LED和高檔微透鏡陣列的基礎(chǔ)上提出了一個(gè) GE MING性的紫外光照系統(tǒng)。

這個(gè)產(chǎn)品應(yīng)用于光刻膠曝光工藝，適用多種基材。光照質(zhì)量保證了高的同質(zhì)性的臨界尺寸和整個(gè)面上的側(cè)壁角。實(shí)際上，由于使用了一種完全遠(yuǎn)心的光學(xué)，我們的設(shè)計(jì)提供了**的穩(wěn)定光照條件，即整個(gè)表面的高同質(zhì)性的強(qiáng)度和低的發(fā)散角。

可以根據(jù)用戶需求進(jìn)行產(chǎn)品開(kāi)發(fā)定制，可以極大縮短您的想法變成產(chǎn)品的時(shí)間。

LED BENEFITS優(yōu)點(diǎn)

目前隨著LED技術(shù)的發(fā)展，紫外LED表現(xiàn)出了比汞光源更大的優(yōu)勢(shì)。

● 長(zhǎng)壽命LED，測(cè)試不需要耗材

● 不需要每天校準(zhǔn)，即刻穩(wěn)定光照

● 有限的發(fā)熱，這降低了空氣冷卻費(fèi)用

● 低功率消耗

● 光源僅僅在曝光時(shí)開(kāi)啟（不需要快門(mén)）

● 用戶可以根據(jù)需求進(jìn)行照射系統(tǒng)定制。

也可以按照用戶舊機(jī)器的尺寸設(shè)計(jì)照射系統(tǒng)，以替代舊的機(jī)器上的汞燈照射系統(tǒng)。

TYPICAL PERFORMANCES 典型參數(shù)

分辨率 ：0.5 μm

光學(xué)功率 ：20 to 200 mW/cm2

曝光區(qū)域 ：50x50 to 300x300 mm2

光學(xué)輻照不均勻性 ： ±2%

ZUI大發(fā)散角(FWHM) ：±1.5°to 3°

波長(zhǎng) ：365 / 385 / 405 nm

光譜半寬幅 ：12 nm

設(shè)備尺寸 ： 65x30x30 cm3

總功率 ：20 to 1200 W