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雙料室氣相沉積實驗爐

MGB60-180HH1

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深圳市美格真空科技有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

70-80萬元

品牌:

美格

型號:

MGB60-180HH1

關注度:

2601

產品介紹

技術參數:

裝料罐尺寸2*Φ200 X 600,裝料量0.04 M3,工作溫度1350℃,極限溫度1600℃,真空度0.1-2.5Pa,氣氛類別:Ar/N2,總功率90KW,工序時長24H/爐。


產品特點:

可雙料室裝載不同物料,分料室單獨控溫,獨立型腔混合反應后氣相沉積

適用于動力電池硅負極材料氣氣預鎂化


關鍵詞:

預鎂化、氣氣預鎂化、預鎂化實驗爐、前段預鎂化實驗爐、硅負極前段預鎂化


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雙料室氣相沉積實驗爐

MGB60-180HH1

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