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Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150
面議
拉普拉斯
Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150
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Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150
功能
1.高溫氧化工藝
2.DCE清洗去除可動(dòng)離子作用和中高溫退火工藝
技術(shù)參數(shù)
適配晶圓尺寸:4,6寸
適用襯底材料:碳化硅
適用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研
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略
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氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
碳化硅涂層CVD爐
蓄熱式熱力氧化RTO
厚膜燒結(jié)爐
RBC系列反應(yīng)燒結(jié)爐
中頻感應(yīng)爐
燒結(jié)爐(硬質(zhì)合金)
FZL(T)-360/17