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拉普拉斯

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Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150

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產(chǎn)品介紹

Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150

功能

1.高溫氧化工藝

2.DCE清洗去除可動(dòng)離子作用和中高溫退火工藝

技術(shù)參數(shù)

適配晶圓尺寸:4,6寸


適用襯底材料:碳化硅


適用領(lǐng)域:功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研


產(chǎn)品咨詢

Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150

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