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產品特點

采用提拉法、導模法、物理氣相傳輸法、液相法等生長工藝，在真空或高壓工況下，采用電阻/感應等加熱方式，配合精密的機械傳動機構，精準的溫度控制技術和自動化的控制程序，從而生長出各種人工晶體材料。

》工作壓力:真空或高壓

>**加熱溫度:≥2000°C

>加熱形式:電阻或感應

控溫精度:≤±0.5°C

>配套流場和溫場仿真計算

>集成化設計，自動化程度高

》可根據客戶需求進行定制化設計

可提供產品:

藍寶石長晶爐

磷化銦多晶合成爐

磷化銦單晶生長爐

砷化鎵長晶爐

碳化硅長晶爐

氧化鎵長晶爐