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立式真空擴散爐

立式真空擴散爐

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青島育豪微電子設備有限公司

山東

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

育豪微電子

型號：

立式真空擴散爐

關注度：

279

產品介紹


設備性能指標

1

操作方式

立式

2

管路數

1管

3

加工晶圓尺寸

6-12寸

4

適用工藝

擴散（鎵擴）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金

5

溫度校準功能

具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能（選配）


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