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主要特點

◆產能:2200~2880pcs/管

◆管數:6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統控制:PLC和PC工控機

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

工藝規范

◆方阻值:50~350 Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內/片間/批間)