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立式爐管設備

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上海至純系統集成有限公司

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上海至純

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立式爐管設備

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763

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主要應用于6寸、8寸以及12寸半導體晶圓廠擴散以及低壓化學氣相沉積工藝。有夾片式機械手臂傳送速度快,有數字式表頭易于查看,人機操作界面友好,工藝穩定的特點。具有我司自主研發知識產權,交貨貨期短的優勢。

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