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雙溫區管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL(TD)-60/17

直接聯系

合肥費舍羅熱工裝備有限公司

安徽合肥

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

費舍羅

型號:

FGL(TD)-60/17

關注度:

4818

產品介紹

【簡單介紹】          

FGL系列雙溫區管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用,也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內實現不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設備。

【詳細說明】

FGL系列雙溫區-管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400)

FGL系列雙溫區-管式梯度爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝。兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用,也可提供較大梯度差的溫場。優質硅鉬棒、硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內實現不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設備。

特點

  1. 工作溫度RT~1600℃

  2. 爐管管徑40mm~100mm可選

  3. 溫區個數2個

  4. 程序控溫儀,智能邏輯PID算法,控制精準。可編輯、儲存并調用多段程序,無需重新設置,操作簡單。

  5. 爐殼結構,雙層爐殼風冷結構。

  6. 采用不銹鋼雙層密封法蘭,進、出氣閥配美標針閥。

  7. 兩端可調節式法蘭支撐結構,延長剛玉管使用壽命。

  8. 超溫保護功能,當溫度超過允許設定值自動斷電。

  9. 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

  10. LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕,經久耐用。

  11. 拓展選件: 爐內測量系統(氧含量檢測系統、溫度檢測系統);

真空系統(旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組);

氣氛系統(浮子流量計、質量流量計);

監控系統:(溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控);

 




產品咨詢

雙溫區管式梯度爐(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL(TD)-60/17

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