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一、設備概述

石英舟清洗機是為半導體、光伏、光纖通信等行業設計的專用清洗設備，主要用于去除石英舟在高溫工藝（如CVD、擴散、氧化）中積累的雜質、顆粒、金屬殘留及有機物污染。該設備通過高效清洗和干燥技術，確保石英舟的表面潔凈度達到納米級工藝要求，避免交叉污染，延長石英舟使用壽命，同時保障下游工藝的穩定性和良品率。

二、核心功能與技術特點

精準清洗工藝

多槽式清洗系統：采用酸洗、堿洗、水洗、超純水沖洗等多槽分段設計，可針對不同污染物（如金屬氧化物、有機膜、微粒）選擇**清洗方案。

噴淋與超聲波結合：通過高壓噴淋實現表面均勻沖刷，配合超聲波空化效應清除頑固附著物，清洗效率提升30%以上。

溫度與濃度可控：清洗液溫度、酸堿濃度實時監控并自動調節，避免因參數波動導致石英舟腐蝕或清洗不徹底。

高效干燥技術

熱風循環干燥：內置恒溫熱風系統，快速烘干殘留水漬，防止水痕污染。

無塵環境設計：干燥腔體配備HEPA過濾器，杜絕外部顆粒污染，確保石英舟表面潔凈度達到Class 10標準。

智能化控制系統

人機交互界面：7英寸觸摸屏預設多種清洗程序（如標準清洗、重金屬去除、有機物剝離），支持自定義參數保存。

數據追溯功能：記錄每次清洗的時間、溫度、液位等數據，便于工藝優化和質量管控。

故障自檢與報警：實時監測液位不足、溫度異常、泵體堵塞等問題，并通過聲光警報提示操作人員。

三、設備優勢

兼容性強：適用于各種規格石英舟（如船型、槽型），可定制夾具適配不同尺寸。

安全環保：酸堿槽體采用PP/PVDF材質，耐化學腐蝕；廢液回收系統實現封閉式排放，減少危廢處理成本。

低耗節能：水循環系統重復利用清洗液，熱風干燥采用熱泵技術，較傳統烘箱節能40%。

長壽命設計：核心部件（如超聲波振子、泵體）選用耐腐蝕材料，設備無故障運行時間≥2000小時。

四、應用場景

半導體領域：清洗擴散爐、CVD設備中使用的石英舟，去除硅片殘留的磷、硼液及工藝薄膜。

光伏行業：清理多晶硅長晶爐石英舟表面的石墨殘留和揮發物，提升電池片光電轉換效率。

科研實驗：用于高校、研究所的高溫實驗設備石英部件清洗，滿足高精度分析需求。