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超高真空雙傾角室蒸發設備

QBT-E

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廈門韞茂科技有限公司

福建

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

韞茂科技

型號:

QBT-E

關注度:

2447

創新點:

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業務方面多年的經驗,韞茂為新型芯片,半導體和鋰電池領域的新材料開發和生產,提供專業的納米工藝設備和服務解決方案。根據您的特殊需求,我們為您定制打造創新納米加工平臺,保證高品質的設計,多功能,易于使用的界面,嚴格的安全控制,以及快速的交付和服務。

產品介紹

超高真空雙傾角室蒸發設備


QBT-E.jpg


技術參數 :

1、UHV超高真空腔體:2腔室,負荷鎖和蒸發,負荷鎖極限真空 極限壓力<1E-8 Torr,可加熱RT-900oC

2、蒸發腔:極限真空 極限壓力<3e-9 Torr

3、高分辨率鍍膜速率顯示及控制 :±0.015,?100mm鍍膜均一性<3%

4、基板操控能力:可實現180度傾斜及360度旋轉,0.1度的精準控制,加熱RT-600oC

5、傳輸 :全自動樣品傳輸

產品咨詢

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