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單片晶圓濕式工藝設備

單片晶圓濕式工藝設備

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北京科翰龍半導體裝備科技有限公司

北京

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品牌：

北京科翰龍

型號：

單片晶圓濕式工藝設備

關注度：

493

產品介紹

采用單片晶圓濕式工藝設備，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。

工藝過程可編程，適應于晶圓*終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝

可對正面及背面同時進行清洗或腐蝕

采用雙手指機械臂傳送晶圓

采用雙面無基礎清洗載物臺

配備雙面PVA刷洗功能

配備藥液控溫單元

配備自動配藥單元

可選配兆聲單元

可選配自動滅火單元


產品咨詢

單片晶圓濕式工藝設備

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