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MEMS探針主要應用于集成電路電路的芯片的性能檢測。

電沉積工藝可以根據探針的不同用途，制作出不同特性的半導體檢測探針，例如，某些芯片需要高導電性的探針，我們可以通過改變材質，改變表面材質特性來制作出高導電性的探針，也可以根據要求，制作出高彈性，高抗振動疲勞的探針，高接觸性以減小到*小的信號減，讓信號傳遞更完整。