EB/PVD – 保護（MCrAlY）和熱障涂層的電子束/物理氣相沉積(TBC)

市場對于航空航天和發電工業中使用的燃氣渦輪發動機效率提出了越來越嚴格的要求。這是由減少化石燃料消耗和運營成本的要求所驅動的。提高渦輪效率的主要手段是提高發動機渦輪熱段的運行溫度。所使用的材料必須經受更高的溫度以及機械應力、腐蝕、侵蝕和其它嚴苛的操作條件，同時提供*終用戶所要求的延長壽命。在這個領域中，涂層工藝現已作出了重大貢獻。

                                         真空渦輪葉片涂層EB/PVD生產系統，SL XXL型

ALD的量產EB/PVD系統配備有一個中央涂層室，其中包含兩個電子束槍和一個氧化鋯陶瓷儲層，這將允許執行數天的涂層工藝操作。EB將產生均勻的蒸氣云，其中部分可以旋轉、傾斜或兩者同時進行，以匹配部分幾何形狀和指定的涂層厚度分布要求。

兩層涂層系統，例如CMAS保護和低k應用，可以通過集成的鑄錠平移機（ITM）來實現，這允許在一次涂層運行中沉積兩種不同的材料。

高性能電子束蒸發金屬和陶瓷。鍵合、擴散和熱障涂層可以在具有高沉積速度的分步工藝n中產生。

EB/PVD工藝將產生具有受控厚度分布的熱障涂層，具有優異的樹枝狀結構、牢固的錨根和光滑的表面性能。TBC涂層將吸收高的熱應力并提高渦輪工作溫度，從而實現了降低燃料消耗、提高效率和延長渦輪壽命的預期效益。

基本設計（SL XXL）包括涂層室、加熱室和加載/卸載室。

模塊化設計允許進一步擴展：例如：可以改裝到2個進料器的涂裝機（DL XXL）。

ALD提供40年的經驗和幾十個參考的涂層系統葉片和導向葉片。

4個進料器的涂裝機（DTL XXL）能夠連續批量生產渦輪部件，具有較高的產量和效率。