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晶圓產品參數

電學參數  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：絕緣≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

電學參數  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：絕緣≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

雙晶搖擺半高寬：≤150”

位錯密度：<1×105 cm-2

目前參考尺寸：2 inch

參考邊：[010]方向

加工指標  

晶面偏差：<±1°；直徑：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；單面拋光，Ra<0.5 nm

產品外形示意圖

電學參數  

UID：1×1016~5×1017 cm-3；Sn：≥1×1018 cm-3；Fe：絕緣≥1×1010 Ω·cm

晶面：(100)

雙晶搖擺半高寬：≤150”

位錯密度：<1×105 cm-2

目前參考尺寸：2 inch

參考邊：[010]方向

加工指標  

晶面偏差：<±1°；直徑：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.05mm；單面拋光，Ra<0.5 nm