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氣浮單軸運動平臺

氣浮單軸運動平臺

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合肥安迅精密技術有限公司

安徽

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

合肥安迅

型號：

氣浮單軸運動平臺

關注度：

717

產品介紹

重復定位精度±100nm

直線度、行走平面度±1um

高動態響應特性

低靜態抖動

快速整定

支持非標定制

行程

300mm

分辨率

20nm

**定位精度

±300nm

重復定位精度

±100nm

速度

1m/s

加速度

1G

位置穩定性

±20nm

行走平面度

±1um

直線度

±1um

Pitch

±2arcsec

Yaw

±2arcsec

Roll

±2arcsec


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