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反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂獎(jiǎng)，是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部位。懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境下不變形，晶圓裝載量大，適用于機(jī)器人自動(dòng)裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)。由于懸臂獎(jiǎng)截面穩(wěn)定不變形，使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。

懸臂槳與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近，應(yīng)用于LPCVD極大地延長了維護(hù)清洗周期，并大幅減少污染物。