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項目

性能

參數

晶體參數

表面晶向

Surface orientation

4.0°  toward [11-20]± 0.5°

4H晶型面積

areas

100%

邊緣多晶

Edge polycrystal

無

機械參數

直徑(mm)

Diameter

150±0.1

參考面方向

Primary flat orientation

<11-20>±5.0°

參考面長度(mm)

Primary flat length

47.5±1.5

電學參數

電阻率  (2 · cm)

Resistivity

0.01-0.03

摻雜劑

Dopant

N型摻氮

缺陷參數

微管密度(個/cm2)

Micropipe Density

≤0.5

基平面位錯BPD(個/cm2)

≤7000

表面質量

裂紋

Cracks

無