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硅制精密產品

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Ferrotec（中國）

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大和熱磁

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硅制精密產品

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Ferrotec（中國）硅熔接和硅精制品致力于為半導體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具，減少硅片金屬污染，錯位等缺陷，以及為半導體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝，提供高純度的多晶硅舟，保溫筒，噴射管等；為半導體蝕刻機提供硅環，showerhead等產品。

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