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高精度程控勻膠機

SYSC-150系列

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上海三研科技有限公司.

產品規格型號
參考報價:

面議

型號:

SYSC-150系列

關注度:

7963

范圍(量程或細度):

--

創新點:

全自動程序控制。 超強耐腐蝕,304不銹鋼機身,腔體采用NPP材料,旋轉臺采用PEEK材料。 安全保護功能,真空吸片檢測,腔體關閉檢測。

應用行業:

可用于微電子、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。

典型用戶:

可用于微電子、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。

產品介紹

SYSC-150系列高精度程控勻膠機(Spin Coater),是**一代旋轉涂膜設備。 精密高速伺服電機驅動,轉速達12000rpm,轉速精準。 **旋轉加速度可達60000rpm/s(有負載的真實加速度)。 全自動程序控制。 超強耐腐蝕,304不銹鋼機身,腔體采用NPP材料,旋轉臺采用PEEK材料。 安全保護功能,真空吸片檢測,腔體關閉檢測。 可用于微電子、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。 


一.   產品應用  

SYSC-150系列高精度程控旋涂儀(Spin Coater),其**轉速可達12000rpm,**旋轉加速度可達60000rpm/s(有負載條件下的真實加速度)。具有速度精度高、轉速穩定、極好的加速度、主動式速度調控、勻膠過程多段程序控制等特點??捎糜谖㈦娮印雽w、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領域的各類高精密納米功能涂層的制備。  

二.   產品特點  

1.     旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機,具有高精度、高穩定性、高可靠性。  

2.     優異的旋轉加速性能,**旋轉加速度可達60000rpm/s(有負載的真實加速度)。  

3.     兩項安全互鎖功能  

 (1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能,確保腔體關閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造成人身傷害;  

 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。  

4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。  

5.     勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料,經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。  

6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料,經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。  

7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調??蓛Υ?/span>50組工藝程序,隨時調用。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態及各項參數實時顯示,更直觀了解勻膠進程;  

9.     真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制,無需手動操作。  

10.   旋轉前增加預吸片步驟,預吸片時間*多為99s,確?;喂涛接谛D臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,解吸片時間*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。  

11.   標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,防止飛片。  

三.   技術參數  

設備型號  

 技術參數  

SYSC-150A  

SYSC-150B  

SYSC-150C  

可鍍膜基片尺寸  

?10~150mm  

?10~150mm  

?10~150mm  

旋轉速度  

10~8000rpm  

10~10000rpm  

10~12000rpm  

轉速分辨率  

1rpm  

1rpm  

1rpm  

速度精度性  

<0.02%  

<0.02%  

<0.02%  

旋涂加速度*  

0~40000rpm/s  

0~50000rpm/s  

0~60000rpm/s  

每段加速時間  

999.9s  

999.9s  

999.9s  

每段旋涂時間  

9999.9s  

9999.9s  

9999.9s  

時間分辨率  

0.1s  

0.1s  

0.1s  

預吸片時間  

99s  

99s  

99s  

解吸片時間  

99s  

99s  

99s  

* **旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?80mm基片)的真實加速度

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SYSC-150系列

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