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>n/p交替多層外延
n/p交替多層外延
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東莞市中科匯珠半導體有限公司
廣東
面議
中科匯珠
144
注釋
①每一層的載流子濃度和厚度無法直接測量。
②表面缺陷包含彗星缺陷、三角形缺陷、胡蘿卜缺陷以及掉落物。
③表面粗糙度使用原子力顯微鏡進行測量，掃描尺寸為10x10 um2.
注:我司可根據客戶定制參數更嚴格的外延片。
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SiC晶圓表面載流子濃度檢測
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