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SBC-16 磁控離子濺射儀

SBC-16

直接聯系

北京中科科儀股份有限公司

北京

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

kyky

型號:

SBC-16

關注度:

2306

產品介紹

SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

 

主要特性

 

  通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

  操作容易快捷, 控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。

  數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

  可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/PdAu 靶為標配), 靶材更換快速方便。

 

技術參數

 

濺射系統

靶材

Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm

標準樣品臺

可以裝載 12  SEM 樣品座,高度可調范圍 60mm

 

 

旋轉傾斜樣品臺(選配)

旋轉速度: 0~60rpm 連續可調,傾斜角度: -90 °~ 90°連續可調;

不銹鋼腔體:直徑 120mm X  75mm;

觀察窗:直徑 120mm X  45mm;

標配旋轉臺直徑 40mm,可放 4 個標準樣品臺, 其它規格可訂做; 具有雙重鎖緊裝置, 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。

濺射電流

微處理器控制, 安全互鎖,可調,電流 5~30mA,程序化數字控制

計量表

真空:  Atm - 1*10-3 mbar,電流: 0~99mA

控制方法

帶有 “開始”“暫?!卑粹o的微處理控制器(1999s),自動抽氣、濺 射、關機后自動放氣。

真空系統

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4  mbar

噪音

56dB


產品咨詢

SBC-16 磁控離子濺射儀

SBC-16

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