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儀器簡介：HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監測和殘余氣體的精確分析。

該分子束外延特定分析質譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環境中長期使用。

主要特點：·鉬銅布線增加MBE環境下系統的壽命

·抗污染離子源護罩

·雙法拉第/ channelplate電子倍增器

技術規格：·質量數范圍： 1～300 amu

·掃描速度： 100amu/s

·*小掃描步階：0.01amu

·靈敏度： 0.1 ppm～1ppm

·穩定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%

·*小檢測分壓：2 x 10^-13 mbar

·**工作壓力：1 x 10^-4 mbar

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)