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PHI ADEPT 1010

簡(jiǎn)介

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的強(qiáng)有力的工具。

優(yōu)勢(shì)

ULVAC-PHI **設(shè)計(jì)的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至250eV時(shí)，仍保持有效的濺射束流的動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

特點(diǎn)

1. 大束流低能量離子槍設(shè)計(jì)，極大的提高了深度分辨率

2. 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測(cè)靈敏度

3. 高精度全自動(dòng)5軸樣品操控臺(tái)

4. 不同方向進(jìn)入檢測(cè)器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測(cè)

應(yīng)用實(shí)例分析

采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素。可以看到H檢測(cè)限值7.1X10¹⁶ atm/cm³，O檢測(cè)限值4.4X10¹⁵ atm/cm³，C檢測(cè)限值2.0X10¹⁵ atm/cm³。