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Rainbow系列陰極熒光成像及光譜探測系統(tǒng)能夠與掃描電子顯微鏡或聚焦離子束系統(tǒng)配合，實(shí)現(xiàn)陰極熒光全譜及單譜掃描成像、光譜采集以及陰極熒光高光譜分析。系統(tǒng)配備熒光收集鏡及傳輸光纖、信號調(diào)理采集系統(tǒng)、電子束掃描發(fā)生器、光譜儀，通過系統(tǒng)控制與采集軟件集成控制。

系統(tǒng)采用電子束掃描發(fā)生器控制電子顯微鏡的電子束掃描和觸發(fā)探測器工作，同時(shí)可采集經(jīng)信號調(diào)理采集系統(tǒng)獲得的熒光強(qiáng)度信號，從而實(shí)現(xiàn)電子束掃描信號與探測器數(shù)據(jù)采集的嚴(yán)格同步，獲得陰極熒光成像、陰極熒光光譜面分布數(shù)據(jù)。該系統(tǒng)可在納米空間分辨率下實(shí)現(xiàn)各類材料的陰極熒光成像和光譜測量，尤其適用于半導(dǎo)體材料研究、光電材料和器件研究研發(fā)、納米光子學(xué)科學(xué)研究、薄膜和納米結(jié)構(gòu)及礦物等。

技術(shù)參數(shù)

(1)CL功能：單色、全色、RGB CL成像。可采集點(diǎn)、線、面CL光譜。

具備波長單色器成像功能，采用PMT探測器對用戶感興趣的波長快速成像；

(2)光譜儀采用C-T結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采用超環(huán)面影像校準(zhǔn)設(shè)計(jì)，全光譜消?差，覆蓋光譜范圍廣；

(3)高性能橢球反射鏡采集，CL收集效率?，總效率可達(dá)到90%（Lambertian source）。

探測器類型：單通道探測器（PMT）、 多通道探測器（CCD）；

(4)光譜響應(yīng)范圍：200-1100nm；

(5)增強(qiáng)型光譜儀：焦距320mm、3光柵，采用68×68大面積光柵，提升光通量的檢測能力；

光譜儀耦合模塊，精確自適應(yīng)匹配CL準(zhǔn)直光束與光譜儀F數(shù)（孔徑），F(xiàn)=4.2；

(6)CL光強(qiáng)成像采用高速PMT探測器，波段響應(yīng)范圍：160-900nm；

(7)CCD光譜分辨：0.2nm（@1200g/mm光柵，CCD像素尺寸15μm）;

PMT分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵）；

(8)專業(yè)CL光譜采集，獨(dú)立操作軟件，輕松獲取與分析數(shù)據(jù)，

開源軟件使整個(gè)CL成像流程輕松簡單；具備點(diǎn)掃描、線掃描、面掃描，全譜、單譜、

高光譜成像的功能，全中文操作界面。