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MaxMile LED 外延片 EL/PL 聯合測試系統

4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

1、外延尺寸(**12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

2、工作臺尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"

3、外延裝載功能： manual manual manual/robot robot

4、裝載盒數量： n/a n/a 1 up to 3

5、裝載盒檢測： n/a n/a yes yes

6、外延尺寸檢測： n/a n/a yes yes

7、裝載盒外延映射： n/a n/a yes yes

8、預對準： n/a n/a yes yes

9、外延片快速映射功能測試：

標準：EL（電致發光），PL（光致發光），EL / PL相結合，IV，反向特性，翹曲。

可選：膜厚測試 ，GaN on Si特征，測試溫度控制。*

10、光譜檢測范圍：從紫外到近紅外（默認為200nm—800nm）

11、光譜分辨率：0.5-2 nm，取決于光譜范圍選擇和系統配置

12、測試項目：

1、電致發光Mapping：

波長--WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波長，半高寬度。

強度—輻射/發光功率，轉換效率。

電流—正向電流/電壓，導通電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導通電阻，頂部電阻

正向漏電流，串接電阻，理想因子，等。

2、光致發光：

波長—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波長，半高寬度。

強度—輻射/發光功率，轉換效率。

3、IV特性Mapping：

正向電流/電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導通電阻，等。

4、其他特性Mapping：

翹曲度

薄膜厚度*

5、測試曲線類型：

特定驅動電流/電壓的電致發光光譜

光致發光譜

LIV—電流/發光強度— 電壓

輸出強度— 驅動電流

波長&半高寬— 驅動電流

反向IV

6、CVD外延布局Mapping:

對于上述所有測試項目，無論mapping還是快速測試均可做布局圖

注意：軟件可以客制化，可為客戶特殊的器件參數做mapping圖

13、激發源：EL: Keithley 數字電源;PL:405nm標配，MaxMile配置其他激發源。

14、EpiEL探針類型：Type I， Type IA， Type II， Type IIA， Type IIB， Type IIC， and GaN-on-Si

15、電流測試：>10 -12A

16、控制單元與操作系統:EpiEL內部電腦使用64位微軟Windows7/8操作系統

17、采樣點/采樣步驟：

1、電致發光采樣點和每個點的光/電測量步驟都可由*終用戶設置。

2、光致發光采樣點可以由*終用戶（高分辨率應用于高要求的應用，快速掃描可用于批量生產的質量控制。

3、用戶可自定測試點的布局。

18、測試時間：每片外延片測試約0.5-12分鐘，這取決于測試類型、采樣點、檢測協議和測量步距設置的不同之處; 光致發光選項掃描速度是每秒*多達50點。

19、報告生成與數據展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping顏色編碼:彩虹色，漸變色，二元色，溫度，灰色，或任何由*終用戶指定的顏色類型。

21、電源：15A/110VAC 或是10A/220VAC（**電壓）;機器人系統需要真空。

22、環境條件:溫度： 15℃ - 30℃ ，相對濕度：30％ -70％無凝結。

Epi-EL/PL聯合測試系統